首页> 外文OA文献 >Investigation of Polishing Pads Impregnated with Fe and Al2O3 Particles for Single-Crystal Silicon Carbide Wafers

【2h】

Investigation of Polishing Pads Impregnated with Fe and Al2O3 Particles for Single-Crystal Silicon Carbide Wafers

机译：用于单晶碳化硅晶片的Fe和al2O3颗粒浸渍抛光垫的研究

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
相似文献
相关主题

著录项

作者
Jihng-Kuo Ho; Chih-Yung Huang; Ming-Yi Tsai; Che-Cheng Tsai;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2016
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Investigation of Polishing Pads Impregnated with Fe and Al 2 O 3 Particles for Single-Crystal Silicon Carbide Wafers [J] . Jihng-Kuo Ho, Chih-Yung Huang, Ming-Yi Tsai, Applied Sciences . 2016,第3期

机译：单晶碳化硅晶片用Fe和Al 2 O 3颗粒浸渍的抛光垫的研究
2. Investigation of Polishing Pads Impregnated with Fe and Al 2 O 3 Particles for Single-Crystal Silicon Carbide Wafers [J] . Jihng-Kuo Ho, Chih-Yung Huang, Ming-Yi Tsai, Applied Sciences . 2016,第3期

机译：单晶碳化硅晶片用Fe和Al 2 O 3颗粒浸渍的抛光垫的研究
3. Effect of graphene additions on polishing of silicon carbide wafer with functional PU/silica particles in CMP slurry [J] . Liu Hsien-Kuang, Chen Chao-Chang A., Chen Chun-Jen Functional materials letters . 2019,第5期

机译：石墨烯添加对CMP浆料中功能性PU /二氧化硅颗粒抛光碳化硅晶片的影响
4. Influences of Machining Parameters on Silicon Wafer Polished with Gel-coupled Ultra-Fine Abrasive Polishing Pads [C] . Juan Liu, Xipeng Xu Conference on Abrasive Technology in China;APCFS; 20071026-28;20061122-25; Nanjing(CN);Sanya(CN) . 2007

机译：加工参数对凝胶耦合超细磨料抛光片抛光硅片的影响
5. Diffusion barriers for silicon carbide particle reinforcements by ion-beam assisted deposition: Effects on interphase stability in silicon carbide(p/beta)-nickel aluminide and silicon carbide(p/gamma)-nickel aluminide composites . [D] . Cai, Zhiwei. 2000

机译：离子束辅助沉积增强碳化硅颗粒扩散的阻挡层：对碳化硅（p /β）-铝化镍和碳化硅（p /γ）-铝化镍复合材料中相间稳定性的影响。
6. Growth and Self-Assembly of Silicon–Silicon Carbide Nanoparticles into Hybrid Worm-Like Nanostructures at the Silicon Wafer Surface [O] . Manuel Alejandro Perez-Guzman, Rebeca Ortega-Amaya, Yasuhiro Matsumoto, 2018

机译：碳化硅-碳化硅纳米粒子在硅晶片表面的生长和自组装成蠕虫状纳米杂化结构。
7. Growth and Self-Assembly of Silicon–Silicon Carbide Nanoparticles into Hybrid Worm-Like Nanostructures at the Silicon Wafer Surface [O] . Manuel Perez-Guzman, Rebeca Ortega-Amaya, Yasuhiro Matsumoto, 2018

机译：硅 - 碳化硅纳米粒子的生长和自组装成硅晶片表面的杂交蠕虫状纳米结构
8. Process for the homoepitaxial growth of single-crystal silicon carbide films on silicon carbide wafers [R] . 1993

机译：在碳化硅晶片上同晶外生长单晶碳化硅膜的方法

Investigation of Polishing Pads Impregnated with Fe and Al2O3 Particles for Single-Crystal Silicon Carbide Wafers

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅